HBO Microlithography Lamps for ASML i-line Systems

Características do produto
  • High spectral intensity with peak irradiance at 365nm wavelength, making it ideal for microlithography
  • Designed for long lasting performance
  • Qualified with ASML
Áreas de aplicação
  • Microlithography
Instruções de segurança
Devido à sua alta luminância, radiação UV e alta pressão interna (quando quente), as lâmpadas HBO só podem ser operadas em invólucros de lâmpada fechados especialmente construídos para esse fim. O mercúrio é liberado se a lâmpada quebrar. Medidas de segurança especiais devem ser tomadas. Mais informações estão disponíveis mediante solicitação ou podem ser encontradas no folheto incluído com a lâmpada ou nas instruções de operação.

Informações sobre Família

As lâmpadas HBO > 200W são projetadas para atender às altas demandas da indústria de semicondutores. Com intensidade de pico em 365nm, essas lâmpadas são ideais para microlitografia e são projetadas e qualificadas para fabricantes de equipamentos específicos.

Products

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Product
Potência nominal
Tensão nominal
Comprimento do centro luminoso (LCL)
Comprimento
Ficha de dados de produtos
HBO 1003 W/PIL
1003 W 27.1 V 85,0 mm 195.0 mm
HBO 1500 W/PIL
1500 W 23.0 V 118,0 mm 273.0 mm
HBO 2100 W/PIL
2100 W 24.0 V 118,0 mm 240.0 mm
HBO 2500 W/PIL
2500 W 28.0 V 149,0 mm 340.0 mm
HBO 3500 W/PIL
3500 W 23.0 V 154,0 mm 360.0 mm
HBO 3502 W/PIL
3502 W 23.0 V 154,0 mm 357.0 mm

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