HBO Microlithography Lamps for ASML i-line Systems
Áreas de aplicação
- Microlithography
Instruções de segurança
Devido à sua luminância alta, à radiação UV e à pressão interna alta (quando quente), as lâmpadas HBO somente podem ser operadas em estojos de lâmpadas embutidos, especialmente construídos para esse fim. O mercúrio será liberado se a lâmpada quebrar. Precauções especiais de segurança precisam ser tomadas. Mais informações disponíveis mediante solicitação ou podem ser encontradas no folheto incluído com a lâmpada ou nas instruções de operação.
Devido à sua luminância alta, à radiação UV e à pressão interna alta (quando quente), as lâmpadas HBO somente podem ser operadas em estojos de lâmpadas embutidos, especialmente construídos para esse fim. O mercúrio será liberado se a lâmpada quebrar. Precauções especiais de segurança precisam ser tomadas. Mais informações disponíveis mediante solicitação ou podem ser encontradas no folheto incluído com a lâmpada ou nas instruções de operação.
Informações sobre Família
HBO lamps > 200W are designed to meet the high demands of the Semiconductor industry. With peak intensity at 365nm these lamps are ideal for microlithography and are designed and qualified for specific equipment manufacturers.
Products
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Ficha de dados de produtos | ||
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HBO 1003 W/PIL
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1003 W | 27.1 V | 85,0 mm | 195.0 mm | ||
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HBO 1500 W/PIL
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1500 W | 23.0 V | 118,0 mm | 273.0 mm | ||
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HBO 2100 W/PIL
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2100 W | 24.0 V | 118,0 mm | 240.0 mm | ||
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HBO 2500 W/PIL
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2500 W | 28.0 V | 149,0 mm | 340.0 mm | ||
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HBO 3500 W/PIL
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3500 W | 23.0 V | 154,0 mm | 360.0 mm | ||
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HBO 3502 W/PIL
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3502 W | 23.0 V | 154,0 mm | 357.0 mm |